温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种SiC单晶的制造方法，在溶液生长法中，将在SiC单晶的制造中使用的已使用溶液再次作为SiC单晶的制造原料进行再利用。一种碳化硅单晶的制造方法，其具备：(a)准备含有硅和碳的溶液(20)的工序；以及(b)使碳化硅的晶种(30)与...
该专利属于株式会社博迈立铖所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社博迈立铖授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。