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本发明涉及半导体制造技术领域，公开了用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置，其中，用于晶圆设备视觉定位的系统中晶圆夹持机械手臂和内置视觉相机的防水罩组合在一起，形成组合机械手臂，则该方法包括：在控制组合机械手臂移动到DSP区域中第一设定位置...
该专利属于北京日扬弘创智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京日扬弘创智能装备有限公司授权不得商用。

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