下载连续式真空溅镀装置的技术资料

文档序号:4471710

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本实用新型是有关于一种连续式真空溅镀装置,包含一个入料单元,以及一个入料抽气单元。该入料单元具有一个连接该入料抽气单元且能进行抽真空与破真空的第一腔体,以及一个连接该第一腔体与该入料抽气单元且只进行抽真空的第二腔体。本实用新型借由上述结构,...
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