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本发明涉及一种超声波相位阵列传感器(200)，所述超声波相位阵列传感器包括多层构造(108)，其中，至少一个第一层(108.1)具有膜片(104)，至少一个第二层(108.2)具有压电衬底(106)，并且至少一个第三层(108.3)具有多个...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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