超声波相位阵列传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种超声波相位阵列传感器(200)，所述超声波相位阵列传感器包括多层构造(108)，其中，至少一个第一层(108.1)具有膜片(104)，至少一个第二层(108.2)具有压电衬底(106)，并且至少一个第三层(108.3)具有多个电触点(102)，其中，所述电触点(102)彼此独立地施加在所述压电衬底(106)的表面(110)上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种超声波相位阵列传感器，该超声波相位阵列传感器具有膜片、压电衬底和多个电触点，其中，所述电触点彼此独立地施加在压电衬底的表面上。

技术介绍

1、超声波泊车传感器的测量原理基于声波。

2、这些声波被辐射到听不见的区域中并且在障碍物上被反射。超声波泊车传感器再次接收被反射的信号，并且电子装置通过时间测量(飞行时间)对该信号进行分析处理。为了将电能转换为声能，在所有超声波泊车传感器中使用压电元件。然而，这些单个的元件将泊车传感器的使用领域局限在声辐射的方向。别的物理效应，例如激光雷达或者雷达，同样能够用于泊车传感器。然而，超声波能够实现泊车传感器的非常成本有利的制造。

3、为了扩展超声波传感器的传感器区域，在医学中已经使用超声波相位阵列传感器(a.s.savoia，“design,fabrication,characterization,and system integration of a1-d pmut array for medical ultrasound imaging”，2021ieee internation本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.超声波相位阵列传感器(200)，所述超声波相位阵列传感器包括多层构造(108)，其中，至少一个第一层(108.1)具有膜片(104)，至少一个第二层(108.2)具有压电衬底(106)，并且至少一个第三层(108.3)具有多个电触点(102)，其中，电触点(102)彼此独立地施加在所述压电衬底(106)的表面(110)上。

2.根据权利要求1所述的超声波相位阵列传感器(200)，其中，所述膜片(104)与所述压电衬底(106)机械地连接。

3.根据上述权利要求中任一项所述的超声波相位阵列传感器(200)，其中，能够通过相移改变辐射角度。p>

4.根据上...

【技术特征摘要】

1.超声波相位阵列传感器(200)，所述超声波相位阵列传感器包括多层构造(108)，其中，至少一个第一层(108.1)具有膜片(104)，至少一个第二层(108.2)具有压电衬底(106)，并且至少一个第三层(108.3)具有多个电触点(102)，其中，电触点(102)彼此独立地施加在所述压电衬底(106)的表面(110)上。

2.根据权利要求1所述的超声波相位阵列传感器(200)，其中，所述膜片(104)与所述压电衬底(106)机械地连接。

3.根据上述权利要求中任一项所述的超声波相位阵列传感器(200)，其中，能够通过相移改变辐射角度。

4.根据上述权利要求中任一项所述的超声波相位阵列传感器(200)，其中，能够通过相移控制辐射方向(608)。

5.根据权利要求3所述的超声波相位阵列传感器(200)，其中，所述超声波相位阵列传感器(200)包括通过相移进行的障碍物高度测量。

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【专利技术属性】
技术研发人员：M·鲁奇，D·R·达尔吉，S·阿拉法特，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：