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本发明涉及缓蚀剂技术领域，具体涉及一种基于N、P、S共掺杂碳量子点的缓蚀剂及其制备方法和应用，制备方法包括以下步骤：以亲水性离子液体为溶剂，将氮源、硫源和磷源在所述溶剂中混合，通过脉冲激光辐照，得到N、S、P共掺杂碳量子点混合悬浊溶液；将所...
该专利属于盐城工学院所有，仅供学习研究参考，未经过盐城工学院授权不得商用。

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