温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于检测和去除用于封装电子部件、尤其是半导体的模具上的污染物的清洁装置，该清洁装置包括：用于照射模具表面的光源；光学检测器，该光学检测器用于检测模具表面上的被照射的污染物；用于去除污染物的可移动清洁器；以及用于清洁器的控制器。...
该专利属于贝斯荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贝斯荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。