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本发明公开了一种光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，包括：1、获取光谱共焦标定光谱和透明材料重叠响应光谱；2、评估随机噪声分布，并得到强度检测阈值和形状系数；3、利用重叠响应光谱的二阶导数得到重叠响应初始峰值位置...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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