光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法技术

本发明专利技术公开了一种光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，包括：1、获取光谱共焦标定光谱和透明材料重叠响应光谱；2、评估随机噪声分布，并得到强度检测阈值和形状系数；3、利用重叠响应光谱的二阶导数得到重叠响应初始峰值位置；4、计算重叠响应的广义高斯函数拟合初始参数；5、对重叠响应参数迭代，直到迭代前后拟合残差变化满足精度要求；6、丢弃不满足测量约束的重叠响应；7、重新执行步骤5和6，直到所有重叠响应均满足测量约束，并获取各重叠响应的峰值位置。本发明专利技术实现了光谱共焦重叠响应的分离，并改进了峰值定位精度，能够测量超薄多层透明材料的厚度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及透明材料厚度测量，尤其涉及一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法。

技术介绍

0、技术背景

1、光谱共焦测量技术由共焦显微测量技术发展而来，利用色散物镜的轴向色散对宽光谱光源发出的光的波长和位置信息进行编码，再由光谱检测装置检测从被测物表面反射回的聚焦光波，经光谱共焦信号处理方法将获得的峰值波长解码为位置信息。该技术凭借其高效、高精度的特点而在微观轮廓检测和重建中具有重要价值，现已应用于工业检测、生物医学等领域。

2、光谱共焦显微镜可通过同时获取并处理不同表面的光谱响应，快速测量透明材料的厚度。然而，超薄透明材料不同表面的响应可能发生重叠，从而导致峰值定位误差并限制了最小可测量厚度。目前的光谱共焦信号处理算法侧重于提高对非重叠光谱响应进行峰值波长提取，或者对部分重叠的波长序列进行区域划分后再求取各区域内的响应峰值位置。在处理严重重叠光谱响应的分离和提取方面存在局限性。

技术实现思路

1、本专利技术是为了解决上述现有技术存在的不足之处，提出一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，其特征在于，S4包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，其特征在于，S5中Levenberg-Marquardt迭代的目标函数如式(5)所示：

4.一种电子设备，包括存储器以及处理器，其特征在于，所述存储器用于存储支持处理器执行权利要求1-3中任一所述重叠响应分离和峰值定位方法的程序，所述处理器被配置...

【技术特征摘要】

1.一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，其特征在于，s4包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法，其特征在于，s5中levenberg-marquardt迭代的目标函数...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢荣胜，葛诚，张腾达，谈士涛，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：