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本发明涉及硅片装载技术领域，具体是应用于石英舟装载的花篮分片机，包括机架，机架的内壁顶部对称固定安装有多组竖板一、多组竖板二和多组导向板，机架的内部设置有运料板一和运料板二，机架的顶部固定安装有电动推杆，机架的下方设置有安插组件，安插组件包...
该专利属于无锡鑫瑞能智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡鑫瑞能智能装备有限公司授权不得商用。

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