应用于石英舟装载的花篮分片机制造技术

本发明专利技术涉及硅片装载技术领域，具体是应用于石英舟装载的花篮分片机，包括机架，机架的内壁顶部对称固定安装有多组竖板一、多组竖板二和多组导向板，机架的内部设置有运料板一和运料板二，机架的顶部固定安装有电动推杆，机架的下方设置有安插组件，安插组件包括衔接杆和翻转架，机架的底部一侧固定连接有支架，翻转架的一端与支架转动连接，位于机架内部的电动推杆的输出端与衔接杆转动连接；本发明专利技术与现有技术相比较，交替式运输是通过运料板一和运料板二上下交替操作，实现硅片连续分离与传送，提升分离速度及整个生产流程效率，还能配合后续组件保证从硅片分离到石英舟装载的过程连贯性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片装载，具体是应用于石英舟装载的花篮分片机。

技术介绍

1、在半导体制造领域中，石英舟作为硅片承载与传输的关键器具，装载硅片的过程对于整个生产流程的效率和质量有着至关重要的影响，而传统的硅片分离环节，往往依赖单个机械结构或简单的吸附方式逐一处理硅片，每次操作都需等待前一片硅片完成分离、传送及后续流程后才能进行下一次，无法满足大规模生产对硅片快速供给的需求；

2、在工作流程连贯性方面，各个环节之间衔接不畅，存在明显的时间间隙，如在硅片从分离到传送至后续组件的过程中，因无法实现连续操作，设备频繁处于等待状态，不仅降低设备的整体利用率，还可能因流程间歇、停滞而导致硅片在等待过程中受到二次污染或位置偏移，进一步影响后续工艺的准确性与稳定性。

3、针对上述的技术缺陷，现提出一种解决方案。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供应用于石英舟装载的花篮分片机，以解决
技术介绍
所提出的技术缺陷。

2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：应用于石英舟装载的花篮分片机本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.应用于石英舟装载的花篮分片机，包括机架（1），其特征在于，所述机架（1）的内壁顶部对称固定安装有多组竖板一（201）、多组竖板二（202）和多组导向板（3），所述机架（1）的内部设置有运料板一（901）和运料板二（902），所述机架（1）的顶部固定安装有电动推杆（8），所述机架（1）的下方设置有安插组件；

2.根据权利要求1所述的应用于石英舟装载的花篮分片机，其特征在于，所述翻转架（402）的一侧壁开设有滑槽，所述电动升降板（403）的一端与滑槽相配合。

3.根据权利要求2所述的应用于石英舟装载的花篮分片机，其特征在于，所述运料板二（902）的上方设置有滑板（...

【技术特征摘要】

1.应用于石英舟装载的花篮分片机，包括机架（1），其特征在于，所述机架（1）的内壁顶部对称固定安装有多组竖板一（201）、多组竖板二（202）和多组导向板（3），所述机架（1）的内部设置有运料板一（901）和运料板二（902），所述机架（1）的顶部固定安装有电动推杆（8），所述机架（1）的下方设置有安插组件；

2.根据权利要求1所述的应用于石英舟装载的花篮分片机，其特征在于，所述翻转架（402）的一侧壁开设有滑槽，所述电动升降板（403）的一端与滑槽相配合。

3.根据权利要求2所述的应用于石英舟装载的花篮分片机，其特征在于，所述运料板二（902）的上方设置有滑板（903），所述运料板一（901）和运料板二（902）的底部以及电动升降板（403）的外侧均固定安装有多组气动吸盘（501），所述运料板一（901）和运料板二（902）的侧壁均固定安装有多组定位片（404）。

4.根据权利要求3所述的应用于石英舟装载的花篮分片机，其特征在于，所述运料板二（902）的顶部两侧均固定连接有多组限位滑杆（11），所述运料板二（902）的顶部中点位置固定连接有联动杆（12），所述联动杆（12）的顶端通过轴承活动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王恺，黄海阔，黄飞，
申请(专利权)人：无锡鑫瑞能智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：