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提供一种ALD载具以及ALD设备。ALD载具包括铝壳体、第一PEEK承载直条、第二PEEK承载直条、第三PEEK承载直条及第四PEEK承载直条；铝壳体具有工艺内腔，工艺内腔具有中心面；第一PEEK承载直条设于右壁面；第二PEEK承载直条的两...
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