下载静电防护环结构及其制作方法的技术资料

文档序号:44675981

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本发明公开一种静电防护环结构及其制作方法,其中该静电防护环包含多个第一鳍状结构、多个第二鳍状结构、多个第一多晶硅导电线、多个第二多晶硅导电线、多个第三多晶硅导电线和多个单扩散阻断,各个第一鳍状结构上至少设置有一个单扩散阻断,单扩散阻断和第三...
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