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本技术提供了一种掩膜板的清洗装置系统，所述掩膜板的清洗装置系统，包括依次连接设置的过滤装置、纳米泡供给装置以及清洗室；所述清洗室中设置有纳米泡喷淋装置。本技术提供的掩膜板的清洗装置系统利用微气泡清洗掩膜板，增强了清洗效果，降低了能耗、风险和...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。

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