【技术实现步骤摘要】
本技术属于掩膜板加工设备，具体涉及一种掩膜板的清洗装置系统。
技术介绍
1、随着现代电子产业的高速发展，手机背板纹理、平板显示器、集成电路板微纳结构的加工工艺越发关键。目前，显示屏面板量产的主流方法是真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到掩膜板蒸镀技术，在干式制程中运用遮罩将红、绿、蓝三种光色分子或金属材料分别附着于狭小的区域中。蒸镀材料会在掩膜板上沉积,在产线上生产时,掩膜板在进行数次蒸镀后都需要进行清洗,防止掩膜板不会因为材料附着发生精度变化。
2、使用溶剂清除掩膜板沉积的膜层时，膜层存在离子化或分解的过程，后续再通过去离子水进行漂洗，置换表面药液及残留的颗粒物，通常辅以超声波及泵浦循环功能，增强漂洗能力。
3、cn 116550692a公开了一种掩膜板清洁系统、方法，所述系统包括：用于承载掩膜板的第一机台；用于获取所述掩膜板的待清洁面的待清洁面图像，确定所述待清洁面上的异物附着信息的图像采集装置；以及用于根据所述异物附着信息，利用超声波对所述待清洁面进行清洁的超声波清洁装置。
4、但是，上述方法在清洁过程...
【技术保护点】
1.一种掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述清洗装置系统包括依次连接设置的过滤装置、纳米泡供给装置以及清洗室；
2.根据权利要求1所述的掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述纳米泡供给控制管路上设置有压力表、流量计以及微气泡水控制阀；
3.根据权利要求1所述的掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述纳米泡供给装置的泡沫出口通过连接管路与所述纳米泡供给控制管路相连接；
4.根据权利要求3所述的掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述连接管路上设置有手动阀和气动阀。
5.根据权利要求1所述的掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述清洗装置系统包括依次连接设置的过滤装置、纳米泡供给装置以及清洗室；
2.根据权利要求1所述的掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述纳米泡供给控制管路上设置有压力表、流量计以及微气泡水控制阀；
3.根据权利要求1所述的掩膜板的清洗装置系统，其特征在于，所述纳米泡供给装置的泡沫出口通过连接管路与所述纳米泡供给控制管路相连接；
4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈宗豪，施利君，陈书良，宋金林，蒋新，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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