温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种等离子处理设备包括等离子处理腔室和磁隔离屏蔽罩，所述磁隔离屏蔽罩包括中空的筒状结构，所述筒状结构罩设于所述等离子处理腔室外且与所述等离子处理腔室的外壁贴合设置，以隔离外界磁场对所述等离子处理腔室内等离子体的干扰，且所述筒状结...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。