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本申请提供了半导体模块组装机械臂以及组装装置,属于半导体技术领域。针对半导体模块组装机械臂体积较大、作业可靠性较低且作业效率较低的问题,本申请提供了半导体模块组装机械臂,包括机械臂主体、第一执行机构和第二执行机构,第一执行机构包括沿一直线设...该专利属于镐晟自动化科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镐晟自动化科技(上海)有限公司授权不得商用。
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