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一种清洁电子基板的方法和清洁溶液，所述基板例如半导体晶片、硬盘、光掩膜或压印模。所述方法包括：利用含有多聚磷酸盐的溶液接触所述基板表面；从所述表面去除所述清洁溶液。一个可选的步骤包括在清洁溶液与所述表面接触时，对所述清洁溶液施加声能，并在施...
该专利属于丰塔纳技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过丰塔纳技术公司授权不得商用。

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