下载一种低导通电阻分立器件及低导通电阻分立器件制备方法的技术资料

文档序号:44652227

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本发明公开了一种低导通电阻分立器件及低导通电阻分立器件制备方法,应用于半导体制造领域,该器件包括:外延功能层,外延功能层的一侧设置有层间电介质层;外延功能层内并位于层间电介质层靠向外延功能层的一侧,排布设置有沟槽结构功能区;层间电介质层形成...
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