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本发明公开了一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统，本发明涉及半导体处理技术领域，该系统包括：激光光源模块，用于产生高重复率、可调激光功率、频率和光束扩散角的飞秒激光脉冲；光学路径控制模块，配置有光学元件组、光学元件对准系统、光束整形器及自...
该专利属于杭州鼎能光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州鼎能光电科技有限公司授权不得商用。

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