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本申请涉及一种用于测量微纳颗粒的装置。所述装置包括：具有第一电极的第一腔室和与所述第一腔室相邻并且具有第二电极的第二腔室，分隔所述第一腔室和第二腔室的衬底，覆盖在所述衬底的第一腔室一侧的膜，所述膜上具有微孔，所述衬底具有电渗槽，所述电渗槽的...
该专利属于瑞芯智造（深圳）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞芯智造（深圳）科技有限公司授权不得商用。

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