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本发明公开了一种射频回路调整系统、调整方法和半导体器件的工艺机台。调整系统包括：第一射频发射器和第二射频发射器，分别向第一反应腔内提供第一射频电流值，向第二反应腔内提供第二射频电流值；电流检测装置，采集第一射频电流值和第二射频电流值；控制器...
该专利属于拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司授权不得商用。

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