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本发明提供了一种抛光垫修整设备、方法及控制装置，该设备包括：第一定盘包括驱动轴，驱动轴与第一定盘同轴且外周设置有第一齿；放置架靠近第一定盘设置，用于放置第一修整单元以及第二修整单元；转运结构靠近第一定盘设置；第一修整单元包括：多个第一修整轮...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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