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本申请提供一种控片回收方法及正常状态控片，该控片掺杂后的回收再生方法包括：对待回收控片的监测表面进行一次抛光处理，得到监测表面为第一粗糙度的中间状态控片，其中，监测表面用于进行掺杂浓度检测；对中间状态控片的监测表面进行二次抛光处理，得到监测...
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