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本技术公开了一种冷却板及靶材冷却装置，涉及磁控溅射设备技术领域，包括箱体和过滤网板，所述箱体的顶部中端安装有伺服电机，且伺服电机的输出端贯穿箱体顶部连接有正反牙丝杆，所述正反牙丝杆的外部设置有第一丝杆螺母和第二丝杆螺母，且正反牙丝杆的底端连...
该专利属于苏州普瑞赛光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州普瑞赛光电科技有限公司授权不得商用。

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