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本技术提供板式加热器以及沉积腔。所述板式加热器包括基座、依次叠置在所述基座上的加热件以及用于将所述加热件产生的热量辐射出去的辐射模块，所述辐射模块包括多个辐射罩，所述基座上设置有多根导轨，每个辐射罩的反面设置有与相应导轨相匹配的结合部，其罩...
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