【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及板式加热器以及沉积腔。
技术介绍
1、异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(pecvd)设备、物理气相沉积(pvd)设备等真空镀膜设备，以便分别形成非晶硅/微晶硅层、透明导电层tco。沉积腔将硅片加热到一定温度，具体温度要根据具体工艺进行确定，合适的加热温度可以使膜层与硅片的附着力增强、膜层致密，对于pvd工艺形成的ito膜层，合适的加热温度(例如250℃左右)可降低方块电阻。同时要求沉积腔对硅片加热均匀，以减少色差，使多片硅片的膜层性能一致。
2、目前大多数pvd产线的沉积腔中的加热器都是采用板式加热器结构，其便于安装维护，体积小且占用腔体空间小，能实现大面积均匀加热。如图1所示，现有技术中的板式加热器1包括基座10、加热模块11以及用于将所述加热模块11产生的热量辐射出去的辐射模块12，加热模块11直接通过第一螺栓13安装在基座10上，辐射模块12通过穿过加热模块11的第二螺栓14安装在加热模块11之上，辐射模块12可为波纹板或铝板。在pvd设备反应腔溅射形成ito膜时会有溅射物在辐射模块12表面形成粉尘，一定时间后需要把辐射模块12拆下进行喷砂处理，拆除时需要在沉积腔中卸除第二螺栓14，因拆卸第二螺栓14不方便从而使得辐射模块12也不便拆卸。
3、因此，如何提供一种板式加热器以及沉积腔，以提高拆卸便利性以及拆卸效率，已成为业内亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的上述问题，本
2、在一实施例中，每个辐射罩包括顶板以及与顶板结合的固定侧板，所述结合部设置在所述顶板底侧，所述凹槽开设在固定侧板上，每个导轨两端均设置有第一凸块以及第二凸块，所述结合部从远离固定侧板的一端与所述导轨结合并沿导轨滑动。
3、在一实施例中，所述顶板为波纹板，每个辐射罩还包括位于固定侧板一侧或两侧的遮挡侧板。
4、在一实施例中，所述导轨的横截面为t型或工字形，所述结合部为与所述导轨的横截面相匹配的半闭口u形件。
5、在一实施例中，所述导轨末端的所述凸块上开设有紧固孔，所述紧固件穿过所述紧固孔从而将所述辐射罩固定在所述导轨上。
6、在一实施例中，所述紧固件为插销或卡簧。
7、在一实施例中，在所述紧固件脱离所述紧固孔之后，所述结合部朝向所述固定侧板外侧沿导轨滑动至脱离导轨从而实现所述辐射罩从导轨上的拆卸。
8、在一实施例中，每个辐射罩的反面设置有多个结合部，所述辐射罩通过多个结合部与相应多根导轨的结合滑动而定位在所述基座上。
9、在一实施例中，所述辐射模块包括两个位于两侧的侧辐射罩以及位于中部的中部辐射罩，所述中部辐射罩面积大于侧辐射罩的面积，所述侧辐射罩设置有两个结合部，所述中部辐射罩设置有三个结合部。
10、本技术还提供一种沉积腔，其用于在进入其中的硅片上沉积薄膜，所述沉积腔包括一个或多个如上任一项所述的板式加热器。
11、与现有技术中板式加热器的辐射模块需要在沉积腔中拆除螺钉才能拆卸相比，本技术的板式加热器包括基座、依次叠置在所述基座上的加热模块以及用于将所述加热模块产生的热量辐射出去的辐射模块，所述板式加热器还包括架设在所述加热模块上的多根导轨，所述辐射模块包括多个辐射罩，每个辐射罩的反面设置有与相应导轨相匹配的结合部，其罩体侧部设置有与导轨末端的凸块相匹配的凹槽，通过所述结合部与导轨结合并沿其滑动至使所述凸块从凹槽穿出，通过相匹配的紧固件与所述凸块结合从而将所述辐射罩与导轨固定连接。
12、本技术能够方便拆除紧固件并沿导轨推拉拆卸辐射板，从而提高拆卸便利性以及拆卸效率。
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1.一种板式加热器，其包括基座、依次叠置在所述基座上的加热模块以及用于将所述加热模块产生的热量辐射出去的辐射模块，其特征在于，所述板式加热器还包括架设在所述加热模块上的多根导轨，所述辐射模块包括多个辐射罩，每个辐射罩的反面设置有与相应导轨相匹配的结合部，其罩体侧部设置有与导轨末端的凸块相匹配的凹槽，通过所述结合部与导轨结合并沿其滑动至使所述凸块从凹槽穿出，通过相匹配的紧固件与所述凸块结合从而将所述辐射罩与导轨固定连接。
2.根据权利要求1所述的板式加热器，其特征在于，每个辐射罩包括顶板以及与顶板结合的固定侧板，所述结合部设置在所述顶板底侧，所述凹槽开设在固定侧板上，每个导轨两端均设置有第一凸块以及第二凸块，所述结合部从远离固定侧板的一端与所述导轨结合并沿导轨滑动。
3.根据权利要求2所述的板式加热器，其特征在于，所述顶板为波纹板，每个辐射罩还包括位于固定侧板一侧或两侧的遮挡侧板。
4.根据权利要求2所述的板式加热器，其特征在于，所述导轨的横截面为T型或工字形，所述结合部为与所述导轨的横截面相匹配的半闭口U形件。
5.根据权利要求2所
6.根据权利要求5所述的板式加热器，其特征在于，所述紧固件为插销或卡簧。
7.根据权利要求5所述的板式加热器，其特征在于，在所述紧固件脱离所述紧固孔之后，所述结合部朝向所述固定侧板外侧沿导轨滑动至脱离导轨从而实现所述辐射罩从导轨上的拆卸。
8.根据权利要求5所述的板式加热器，其特征在于，每个辐射罩的反面设置有多个结合部，所述辐射罩通过多个结合部与相应多根导轨的结合滑动而定位在所述基座上。
9.根据权利要求1所述的板式加热器，其特征在于，所述辐射模块包括两个位于两侧的侧辐射罩以及位于中部的中部辐射罩，所述中部辐射罩面积大于侧辐射罩的面积，所述侧辐射罩设置有两个结合部，所述中部辐射罩设置有三个结合部。
10.一种沉积腔，其用于在进入其中的硅片上沉积薄膜，其特征在于，所述沉积腔包括一个或多个如权利要求1至9中任一项所述的板式加热器。
...【技术特征摘要】
1.一种板式加热器，其包括基座、依次叠置在所述基座上的加热模块以及用于将所述加热模块产生的热量辐射出去的辐射模块，其特征在于，所述板式加热器还包括架设在所述加热模块上的多根导轨，所述辐射模块包括多个辐射罩，每个辐射罩的反面设置有与相应导轨相匹配的结合部，其罩体侧部设置有与导轨末端的凸块相匹配的凹槽，通过所述结合部与导轨结合并沿其滑动至使所述凸块从凹槽穿出，通过相匹配的紧固件与所述凸块结合从而将所述辐射罩与导轨固定连接。
2.根据权利要求1所述的板式加热器，其特征在于，每个辐射罩包括顶板以及与顶板结合的固定侧板，所述结合部设置在所述顶板底侧，所述凹槽开设在固定侧板上，每个导轨两端均设置有第一凸块以及第二凸块，所述结合部从远离固定侧板的一端与所述导轨结合并沿导轨滑动。
3.根据权利要求2所述的板式加热器，其特征在于，所述顶板为波纹板，每个辐射罩还包括位于固定侧板一侧或两侧的遮挡侧板。
4.根据权利要求2所述的板式加热器，其特征在于，所述导轨的横截面为t型或工字形，所述结合部为与所述导轨的横截面相匹配的半闭口u形件...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐和平，
申请(专利权)人：理想万里晖半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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