下载一种横向MOS器件及制备方法的技术资料

文档序号:44618061

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本发明提供了一种横向MOS器件及制备方法,P型衬底的上表面依次向上变掺杂外延生长有埋氧层、P型漂移区;栅极的底部与埋氧层的上表面相接;P型漂移区上的沟槽结构内部填充有介质层;栅极设置于介质层的一侧,介质层的另一侧设置有第一P+区,栅电极的上...
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