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本技术提供了一种近表面电阻测试仪的导流装置，包括壳体、上盖和导流板；壳体包括第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板和底板；导流板固定在氧化腔内，导流板的一端和第二侧板的内壁贴合，导流板的另一端与第四侧板的内壁贴合，导流板的下表面与底板的内壁...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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