【技术实现步骤摘要】
本技术涉及近表面电阻测试仪，特别涉及一种近表面电阻测试仪的导流装置。
技术介绍
1、在晶圆制造过程中，需要使用近表面电阻测试仪测量晶圆表面外延层的电阻。近表面电阻测试仪又称为表面电阻测试仪，近表面电阻测试仪的结构如图1所示，包括壳体1、上盖2和紫外线灯5；壳体1包括第一侧板11、第二侧板12、第三侧板13、第四侧板14和底板15，第一侧板11上设置有进气口111，第三侧板13上设置有出气口131；上盖2的一端与第二侧板12的顶端铰接连接，上盖2和壳体1围合形成氧化腔，上盖2相对壳体1可打开和闭合；紫外线灯5安装在上盖2的内侧面上。
2、在测量晶圆4表面外延层的电阻时，需要将晶圆4放在氧化腔内，从进气口111输入cda(clean dry air，洁净干燥的空气)，cda中的氧气在紫外光线辐射下生成臭氧，臭氧与晶圆4表面的硅反应生成氧化层，氧化层的密度和厚度影响电阻的测量结果。
3、然而，进气口111和出气口131之间的连线通常对准晶圆4的中心线，当cda流过进气口111、氧化腔和出气口131时，晶圆4表面的气流分...
【技术保护点】
1.一种近表面电阻测试仪的导流装置，其特征在于，包括壳体、上盖和导流板；所述壳体包括第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板和底板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板和所述第四侧板顺次连接，所述第一侧板上设置有进气口，所述第三侧板上设置有出气口；所述上盖的一端与所述第二侧板顶端铰接连接，所述上盖和所述壳体围合形成氧化腔，所述上盖相对所述壳体可打开和闭合；
2.如权利要求1所述的一种近表面电阻测试仪的导流装置，其特征在于，所述导流板和所述第一侧板的内壁之间具有间隙。
3.如权利要求1所述的一种近表面电阻测试仪的导流装置，其特征在于，所述导流板...
【技术特征摘要】
1.一种近表面电阻测试仪的导流装置，其特征在于，包括壳体、上盖和导流板；所述壳体包括第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板和底板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板和所述第四侧板顺次连接，所述第一侧板上设置有进气口，所述第三侧板上设置有出气口；所述上盖的一端与所述第二侧板顶端铰接连接，所述上盖和所述壳体围合形成氧化腔，所述上盖相对所述壳体可打开和闭合；
2.如权利要求1所述的一种近表面电阻测试仪的导流装置，其特征在于，所述导流板和所述第一侧板的内壁之间具有间隙。
3.如权利要求1所述的一种近表面电阻测试仪的导流装置，其特征在于，所述导流板的高度低于所述第一侧板的高度，并且高于所述进气口相对所述底板的高度。
4.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张雁汝，张斌，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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