下载基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器的技术资料

文档序号:44614901

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本技术公开一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器,涉及气体浓度检测领域,包括:传感器模拟前端部分、信号调理部分、数据处理部分、电源部分;传感器模拟前端部分开口MEMS芯片检测被测环境中的氢气浓度;信号调理部分闭口MEMS芯片采集对应的电...
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