基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器制造技术

本技术公开一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，涉及气体浓度检测领域，包括：传感器模拟前端部分、信号调理部分、数据处理部分、电源部分；传感器模拟前端部分开口MEMS芯片检测被测环境中的氢气浓度；信号调理部分闭口MEMS芯片采集对应的电信号及对电信号处理，将氢气浓度变化所引起的信号差异与干扰因素造成的差异做区分和计算等处理；数据处理部分将对应的数据输出给用户；电源部分为各部分供电。上述氢气浓度传感器，实现有益效果：对氢气浓度的检测效果很好，而且体积小，响应快，数据后续传输及处理灵活，可定制性强，并且可以方便的接入各种电子系统之中，方便其他有需要的电子系统扩展气体流速检测功能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体浓度传感，尤其涉及一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器。

技术介绍

1、由于传统的热导传感器是利用传感器的温度随被测气体浓度的改变而发生相应的变化这一特性，实现对气体浓度的检测，存在检测灵敏度低、检测误差大、温度漂移大、环境温度补偿困难、有交叉敏感现象等诸多问题。

技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此，本技术实施例提出一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，具有低功耗和长寿命特点，本技术可以大幅缩短预热过程到100ms，完成一次气体浓度检测仅需要300ms。本技术实施例在恒压供电的条件下，功耗远远低于电化学原理和半导体原理。由于没有化学材料损耗，本技术具有超长寿命。

2、根据本技术的实施例的一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，所述基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器包括：传感器模拟前端部分、信号调理部分、数据处理部分、电源部分；

3、所述传感器模拟前端部分，包括第一mems芯片，将目标气体的浓度变化按线性规律转换成微小本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，其特征在于，包括：传感器模拟前端部分、信号调理部分、数据处理部分、电源部分；

2.根据权利要求1所述的基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，其特征在于，所述传感器模拟前端部分，包括开口的第一MEMS芯片，所述第一MEMS芯片第二、第五、第四、第七、第八引脚并联接地；第一MEMS芯片第六引脚与第二MEMS芯片第六引脚并联接第二电阻一端；第一MEMS芯片TH-引脚与第二MEMS芯片TH-引脚端并联连接；第一MEMS芯片TH+引脚与微控制器芯片AN2端相连接；第二MEMS芯片TH+引脚与微控制器芯片AN3引脚相连接。

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【技术特征摘要】

1.一种基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，其特征在于，包括：传感器模拟前端部分、信号调理部分、数据处理部分、电源部分；

2.根据权利要求1所述的基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，其特征在于，所述传感器模拟前端部分，包括开口的第一mems芯片，所述第一mems芯片第二、第五、第四、第七、第八引脚并联接地；第一mems芯片第六引脚与第二mems芯片第六引脚并联接第二电阻一端；第一mems芯片th-引脚与第二mems芯片th-引脚端并联连接；第一mems芯片th+引脚与微控制器芯片an2端相连接；第二mems芯片th+引脚与微控制器芯片an3引脚相连接。

3.根据权利要求1所述的基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，其特征在于，所述的数据调理部分包括密封的第二mems芯片，所述第二mems芯片第二、第五、第四、第七、第八引脚并联接地；所述第二mems芯片第六引脚与第二电阻一端连接，提供所需mems芯片工作电压；所述第二mems芯片第一引脚与所述第一mems芯片第一引脚并联连接，向微控制器芯片提供信号输入；所述第二mems芯片第三引脚向微控制器芯片提供信号输入。

4.根据权利要求1所述的基于热导率芯片的高灵敏度氢气浓度传感器，其特征在于，所述数据处理部分，所述微控制器芯片第八引脚与所述第一mems芯片第三引脚、an2端并联连接；所述微控制器芯片第九引脚与所述第二mem...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓勇，何云琦，汪辉，林钟伟，雷世安，
申请(专利权)人：博思发科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：