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本公开提供了一种抛光垫及最终抛光设备，所述抛光垫包括：基体；设置在所述基体上的可变形单元，所述可变形单元能够通过变形使所述抛光垫在第一形状模式和第二形状模式之间切换，在所述第一形状模式中，所述抛光垫的抛光面形成有沟槽，在所述第二形状模式中，...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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