下载一种半导体晶圆减薄研磨用贴膜机的技术资料

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本技术公开了一种半导体晶圆减薄研磨用贴膜机,包括安装底座,所述安装底座顶部固定设置有伺服电机,所述伺服电机的输出固定设置有螺杆,所述螺杆右端设置有辅助组件,所述螺杆表面螺纹设置有移动块,所述移动块顶部固定设置有贴膜台。通过伺服电机、螺杆、连...
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