温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及半导体晶圆上料设备技术领域，且公开了一种晶圆批量上料固定及保护装置，包括左盖板、右盖板与上盖板，所述左盖板与右盖板分别位于上盖板的底端，且分别位于上盖板的底端两侧，所述左盖板与上盖板之间固定连接，所述右盖板与上盖板之间固定连接，本...
该专利属于沛顿科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沛顿科技（深圳）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。