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本发明公开了一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法及其使用方法，属于ALD镀膜用铝合金腔盖生产制造技术领域。包括以下步骤：步骤一，散件加工；步骤二，清洗烘干；步骤三，搅拌摩擦焊接；步骤四，热处理强化；步骤五，整形；步骤六，机加工；步骤七，攻丝；...
该专利属于同芯构技术（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过同芯构技术（苏州）有限公司授权不得商用。

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