一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法及其使用方法，属于ALD镀膜用铝合金腔盖生产制造技术领域。包括以下步骤：步骤一，散件加工；步骤二，清洗烘干；步骤三，搅拌摩擦焊接；步骤四，热处理强化；步骤五，整形；步骤六，机加工；步骤七，攻丝；步骤八，水压检测；该发明专利技术，通过搅拌摩擦焊接的方式进行焊接，使焊缝处材料致密度高、残余应力小，确保ALD镀膜用铝合金腔盖使用过程中不会泄露，有利于提高ALD镀膜用铝合金腔盖在液体压力下正常工作的可靠性，能有效减少产品返修概率，降低成本，提高生产效率，具有较高的实用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ald镀膜用铝合金腔盖生产制造，具体为一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法及其使用方法。

技术介绍

1、铝合金密度低，比强度高，具有良好的导电性、导热性、耐蚀性和可焊性，加工性能好，使用寿命长，易回收，可实现轻量化减重的目的，降低成本，因此具有广泛的使用范围。此ald镀膜用铝合金腔盖通过液冷技术来降低设备温度，与传统的风冷散热相比，采用液冷技术具有更高的散热效率和更低的噪声水平。ald镀膜用铝合金腔盖流道中的液体将热量从设备传输到液体中，这样可以快速将热量带走，保持设备的运行温度在较低的范围内，ald镀膜用铝合金腔盖由基板与盖板组成，由于盖板厚度较薄，传统的方式通常使用熔焊的方式将基板与盖板进行固定连接，但是熔焊热输入量较大，盖板金属材料有烧损的可能性，同时焊后变形量及残余内应力大，不便于使用。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、鉴于上述问题，本专利技术提出的技术方案是：

3、一种ald镀膜用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，所述铝合金腔盖包括铝合金基板（101）和盖板（102），所述盖板（102）设置在铝合金基板（101）顶部。

3.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，所述铝合金基板（101）包括板体（10101），所述板体（10101）顶部开设有底槽（10102），所述底槽（10102）呈回环形结构。

4.根据权利要求3所述的一种ALD镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，所述板体（10101）一侧开...

【技术特征摘要】

1.一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，所述铝合金腔盖包括铝合金基板（101）和盖板（102），所述盖板（102）设置在铝合金基板（101）顶部。

3.根据权利要求1所述的一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，所述铝合金基板（101）包括板体（10101），所述板体（10101）顶部开设有底槽（10102），所述底槽（10102）呈回环形结构。

4.根据权利要求3所述的一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，所述板体（10101）一侧开设有进水口（10104）和出水口（10105），所述进水口（10104）和出水口（10105）分别与底槽（10102）两端连通。

5.根据权利要求4所述的一种ald镀膜用铝合金腔盖制造方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉华，蒋云霞，王天宇，吴金鹏，张哲，
申请(专利权)人：同芯构技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：