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本发明公开了一种基于研磨片的研磨超声清洗装置，转运机械手将研磨片转运至定心组件上进行定心作业；将定心完成后的研磨片转运至滴液组件上进行滴液作业，通过转运机械手转运至研磨组件上，研磨组件与清洗组件相对设置，旋转组件包括旋转座以及位于旋转座两侧...
该专利属于苏州安准智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州安准智能装备有限公司授权不得商用。

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