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本技术公开了一种双向运动机构、取料组件及半导体加工设备，包括第一直线移载模组和第二直线移载模组。第一直线移载模组包括第一直线电机和第一电机滑块，第一直线电机的长度沿第一方向延伸，第一直线电机的顶部设置有第一装配连接部，第一直线电机的底面设置...
该专利属于珠海市申科谱工业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海市申科谱工业科技有限公司授权不得商用。

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