【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工设备，特别涉及一种双向运动机构、取料组件及半导体加工设备。
技术介绍
1、现有xy轴移载机构大多是链传动或者丝杆配合导轨滑块电机驱动。这样的传动方式效率较低，移载精度不高，且移载速度较慢。因链传动或者丝杆需配合伺服电机使用，电机的安装比较占空间。由于受到其结构、空间、成本等因素的限制，传统的传动的方式，很难保证移载精度。而且模组在结构上偏于复杂，所需要的传动机构较多，移动的灵敏度也不高，成本高、效率低，同时操作不方便。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种双向运动机构、取料组件及半导体加工设备，能够简化结构，提高移动灵敏度，从而提高工作效率。
2、一方面，本技术实施例提供一种双向运动机构，包括：
3、第一直线移载模组，包括第一直线电机和第一电机滑块，所述第一直线电机的长度沿第一方向延伸，所述第一直线电机的顶部设置有第一装配连接部，所述第一直线电机的底面设置有第一滑轨和第一磁轨，所述第一电机滑块安装...
【技术保护点】
1.一种双向运动机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的双向运动机构，其特征在于，所述第一直线移载模组（100）还包括第三电机滑块（120），所述第三电机滑块（120）安装在所述第一滑轨（112）上且与所述第一磁轨（113）耦合。
3.根据权利要求2所述的双向运动机构，其特征在于，所述第三电机滑块（120）上安装有第三直线移载模组（300），所述第三直线移载模组（300）包括第三直线电机（310）和第四电机滑块（320），所述第三直线电机（310）与所述第三电机滑块（120）连接，且所述第三直线电机（310）的长度沿所述第二方向延伸，...
【技术特征摘要】
1.一种双向运动机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的双向运动机构，其特征在于，所述第一直线移载模组（100）还包括第三电机滑块（120），所述第三电机滑块（120）安装在所述第一滑轨（112）上且与所述第一磁轨（113）耦合。
3.根据权利要求2所述的双向运动机构，其特征在于，所述第三电机滑块（120）上安装有第三直线移载模组（300），所述第三直线移载模组（300）包括第三直线电机（310）和第四电机滑块（320），所述第三直线电机（310）与所述第三电机滑块（120）连接，且所述第三直线电机（310）的长度沿所述第二方向延伸，所述第三直线电机（310）的底面设置有第三滑轨（311）和第三磁轨（312），所述第四电机滑块（320）安装在所述第三滑轨（311）上且与所述第三磁轨（312）耦合，所述第四电机滑块（320）上设置有第三装配连接部。
4.根据权利要求3所述的双向运动机构，其特征在于，所述第二直线电机（210）和所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，宋斌杰，李峰，粟勇，杨俊辉，钟函君，郎浩，
申请(专利权)人：珠海市申科谱工业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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