温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，其包含聚合物(A)、和溶剂，上述聚合物(A)在侧链具有选自碳‑碳双键、碳‑碳三键、碳‑氮双键、和碳‑氮三键中的一种或二种以上聚合性多重键。...
该专利属于日产化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日产化学株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。