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一种晶圆光刻胶贴膜压装装置，包括下壳体、电动负压真空泵、空压机、上盖、台盘、电动推杆、气囊、排气阀门；下壳体侧端安装有连接管，连接管外侧端和电动负压真空泵进气端连接，上盖内下端安装有固定压圈，气囊外侧安装在固定压圈内侧；气囊一侧上安装有进气...
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