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本申请公开了一种倒膜设备，该倒膜装置包括壳体，壳体内部的空腔中设置有真空装置和加热装置，壳体的上表面设置有多个抽气孔以及限位结构，当目标圆片放置在上表面的限位结构中后，真空装置抽取目标圆片与上表面之间的气体，且加热装置对上表面进行加热，上表...
该专利属于通富微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通富微电子股份有限公司授权不得商用。

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