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本发明提供了一种晶圆翘曲度测量系统，该系统包括：激光器，用于发射检测激光；分束间隔器，用于将检测激光转换成对应的第一激光以及第二激光；反射镜，用于将第一激光以及第二激光对应反射至晶圆的表面；分光元件，安装于分束间隔器与反射镜之间；至少两个位...
该专利属于南昌昂坤半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南昌昂坤半导体设备有限公司授权不得商用。

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