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本申请涉及真空压力测量技术领域，具体而言，涉及一种低真空范围内水蒸气制备装置以及压力测量方法，所述装置包括水蒸气样品室、金属容器、测量腔、第一电容薄膜规、第二电容薄膜规以及真空泵组，其中：水蒸气样品室通过第一高真空角阀与测量腔连接；金属容器...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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