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本技术涉及等离子蚀刻的技术领域，具体公开了一种具有简便自动门的双腔等离子蚀刻装置，包括两个相同的腔体机构，腔体机构包括腔体和腔门，腔体外两侧设置有第一固定座，腔门上设置有滑轨；动力机构，动力机构包括液压杆、传动块以及悬臂，液压杆连接第一固定...
该专利属于扬州国兴技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国兴技术有限公司授权不得商用。

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