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本技术涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种线切设备;线切设备包括:驱动机构、切割线、喷头和磁吸机构,切割线设置于驱动机构,且由驱动机构驱动切割线沿其长度延伸方向移动;喷头的出液口与切割线相对分布,喷头用于向切割线喷淋工作液;磁吸机构邻近喷...该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。
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本技术涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种线切设备;线切设备包括:驱动机构、切割线、喷头和磁吸机构,切割线设置于驱动机构,且由驱动机构驱动切割线沿其长度延伸方向移动;喷头的出液口与切割线相对分布,喷头用于向切割线喷淋工作液;磁吸机构邻近喷...