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本发明提供一种图案形成方法及能够通过包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法获得线宽的面内均匀性优异的图案的图案形成方法及包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法，所述图案形成方法包括：(1)使用包含通过酸的作用分解而极性增大的树脂(A)及...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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