下载复合结构物和其评价方法、半导体和显示屏制造装置的技术资料

文档序号:44582499

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本发明提供一种抗粒子性出色的陶瓷涂层以及评价陶瓷涂层的抗粒子性的方法。具体而言,是一种包含基体材料及设置在所述基体材料上且具有表面的结构物的复合结构物,结构物包含多结晶陶瓷,将通过TEM图像解析算出的亮度Sa满足规定值的复合结构物,可作为要...
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