下载垂直屏蔽栅极累积场效应晶体管的技术资料

文档序号:44582062

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本公开涉及垂直屏蔽栅极累积场效应晶体管。累积MOSFET包括多个器件单元。每个器件单元包括与设置在掺杂半导体衬底中的垂直沟槽邻接的台面。台面具有设置在底台面部分上的顶台面部分。顶台面部分具有比底台面部分的宽度窄的宽度。邻接该台面的垂直沟槽具...
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